儀器由進樣器、裂解爐、臭氧發生器、紫外光源、反應室、光電轉換器、微電流放大器及數據處理系統等幾部分組成。當樣品被引入高溫裂解爐后，經氧化裂解，其中的硫定量地轉化為二氧化硫（SO2），氮定量的轉化為NO。SO2由載氣攜帶經干燥器脫水后進入熒光室中，部分二氧化硫受紫外光照射后轉化為激發態的二氧化硫（S02*）,當S02*躍遷到基態時發射出光子，光電子信號由光電倍增管接收放大，再經程控放大器放大，計算機數據處理，即可以轉換為與光強度成正比的電信號；NO也由載氣攜帶經干燥器脫水后進入反應室，在此與來自臭氧發生器的O3發生反應產生激發態的NO2﹡,當NO2﹡返回到基態時，發出光子，發出的光由光電倍增管接收放大并由微電流放大器再次放大，將光信號轉換為相應的電信號。通過測量化學發光、紫外熒光的強度即可求出樣品的總硫和總氮含量。